将不同摩尔比的二甲基二氯硅烷与甲基苯基二氯硅烷，在盐酸和甲苯作用下，发生共水解反应；该反应得到带有苯基的三环体、四环体、五环体环状硅氧烷和分子量不等的直链状的硅氧烷混合液体；将水解后的液体经过静置分层后，取上层油状液体在旋转蒸发器中除水和甲苯，三个小时后放入反应釜中，加入的LiOH粉末使其催化裂解，控制升温速度保证不冲料的前提下逐渐升温，裂解后直到没有液体流出为止；收集瓶中即为纯净的含Me2SiO链节的环状聚甲基苯基硅氧烷。